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硅片抗彎強(qiáng)度測(cè)試機(jī)取樣方法

1、硅片抗彎強(qiáng)度與硅片內(nèi)在質(zhì)量和表面損傷狀況有關(guān)，一般力學(xué)參數(shù)都有一定的分散度，因此每組試樣作研究時(shí)需10片左右，抽檢時(shí)可按有關(guān)抽樣標(biāo)準(zhǔn)或供需雙方商定。

2、試樣表面應(yīng)符合GB12964或GB12965要求。

3、將試樣用石臘:松香=2:1配成的粘合劑粘在玻璃板上，用直徑40mrn的割圓套頭在臺(tái)鉆上割成直徑40mrn的圓片。割圓位置規(guī)定如下:直徑小于80mm的硅片在同心圓位置;直徑80rnm以上長(zhǎng)硅片在偏離主參考面45。位置割第一個(gè)圓。

4、試樣用適當(dāng)溶劑去臘，用洗滌劑清洗潔凈，去離子水沖洗，烘干后放入干燥器中備用。